多元注入硬质合金的X射线光电子能谱分析
作者： 深圳大学物理与能源学院; 广东深圳518060; 深圳大学光电工程学院; 广东深圳518060
摘要：硬质合金以其优良的物理机械性能而广泛应用于工程领域,其性能不仅取决于组成各相的结构,也取决于其表面的状态.应用金属蒸汽真空弧离子源,对硬质合金进行了C、Cr、V多元离子注入处理,并进行了X射线光电子能谱检测,结果显示了各注入元素的存在状态以及与周围其他元素的结合状态,并由此进一步分析了对硬质合金性能的影响,对硬质合金实施了进一步表面改性,并提供了相关理论和实验支持.
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