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高纯碳化硅粉体合成方法研究现状综述

作者:安振华 不详

摘要:SiC粉体的纯度对生长SiC单晶晶体质量有重要影响。本文介绍了SiC粉体的多种合成方法,并主要阐述了高纯SiC粉体的两种合成方法,最后对高纯SiC粉体的合成工艺进行了展望。

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中国粉体工业

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