摘要：通过磁控溅射方法制备Cu-Mg合金薄膜,随后进行去合金化得到纳米多孔铜膜。研究了Ar流量和溅射功率对合金膜表面质量和厚度的影响,分析了盐酸浓度对纳米孔形成的影响。利用结晶紫分子来表征纳米多孔铜的表面增强拉曼散射性能。结果表明,磁控溅射参数设置Ar流量为45 mL/min,且功率为70 W时,能够得到表面平整的Cu28Mg72合金薄膜。经1.00 M(mol/L)HCl腐蚀得到的多孔铜的孔最均匀,同时具有最好的拉曼信号增强效果。