期刊简介
Journal Title：Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems
The Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS (JM3) publishes peer-reviewed papers on the science, development, and practice of lithographic, fabrication, packaging, and integration technologies necessary to address the needs of the electronics, microelectromechanical systems, micro-optoelectromechanical systems, and photonics industries.
中文简介
《微/纳米光刻、MEMS 和 MOEMS 杂志》（JM3）发表同行评审的论文，内容涉及光刻、制造、封装和集成技术的科学、开发和实践，这些技术对于满足电子、微机电系统、微光机电系统和光子学行业的需求必不可少。
期刊点评
Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems创刊于2007年，由SPIE出版商出版，收稿方向涵盖Multiple全领域，此刊是中等级别的SCI期刊，所以过审相对来讲不是特别难，但是该刊专业认可度不错，仍然是一本值得选择的SCI期刊 。平均审稿速度较慢,6-12周，影响因子指数2.3，该期刊近期没有被列入国际期刊预警名单，广大学者值得一试。
中科院分区（数据版本：《新锐期刊分区表》 2026年3月发布）
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 物理与天体物理 | 3区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 OPTICS 光学 | 4区 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
名词解释：
中科院分区也叫中科院JCR分区，基础版分为13个大类学科，然后按照各类期刊影响因子分别将每个类别分为四个区，影响因子5%为1区，6%-20%为2区，21%-50%为3区，其余为4区。
中科院分区（数据版本：期刊分区表 2025年3月升级版）
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 物理与天体物理 | 3区 | OPTICS 光学 ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 | 3区 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
中科院分区（数据版本：期刊分区表 2023年12月升级版）
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 物理与天体物理 | 2区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 OPTICS 光学 | 3区 3区 3区 3区 | 否 | 否 |
WOS分区
2025-2026年最新版
| 按JCI指标学科分区 | 收录子集 | 分区 | 排名 | 百分位 |
| 学科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 221 / 369 |
40.2 |
| 学科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q3 | 336 / 472 |
28.9 |
| 学科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q4 | 116 / 148 |
22 |
| 学科：OPTICS | SCIE | Q3 | 68 / 129 |
47.7 |
| 学科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 250 / 371 |
32.75 |
| 学科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q3 | 328 / 473 |
30.76 |
| 学科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q3 | 104 / 148 |
30.07 |
| 学科：OPTICS | SCIE | Q3 | 93 / 129 |
28.29 |
2023-2024年最新版
| 按JCI指标学科分区 | 收录子集 | 分区 | 排名 | 百分位 |
| 学科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 252 / 352 |
28.6 |
| 学科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q4 | 338 / 438 |
22.9 |
| 学科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q4 | 115 / 140 |
18.2 |
| 学科：OPTICS | SCIE | Q3 | 82 / 119 |
31.5 |
| 学科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 255 / 354 |
28.11 |
| 学科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q3 | 311 / 438 |
29.11 |
| 学科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q3 | 103 / 140 |
26.79 |
| 学科：OPTICS | SCIE | Q3 | 88 / 120 |
27.08 |
名词解释：
WOS即Web of Science，是全球获取学术信息的重要数据库，Web of Science包括自然科学、社会科学、艺术与人文领域的信息，来自全世界近9,000种最负盛名的高影响力研究期刊及12,000多种学术会议多学科内容。给期刊分区时会按照某一个学科领域划分，根据这一学科所有按照影响因子数值降序排名，然后平均分成4等份，期刊影响因子值高的就会在高分区中，最后的划分结果分别是Q1，Q2，Q3，Q4，Q1代表质量最高。
CiteScore分区（2026年6月最新版）
| CiteScore | SJR | SNIP | CiteScore排名 | ||||||||||||||||||||||||
| 4.3 | 0.437 | 1.791 |
|
名词解释：
CiteScore：衡量期刊所发表文献的平均受引用次数。
SJR:SCImago 期刊等级衡量经过加权后的期刊受引用次数。引用次数的加权值由施引期刊的学科领域和声望 (SJR) 决定。
SNIP:每篇文章中来源出版物的标准化影响将实际受引用情况对照期刊所属学科领域中预期的受引用情况进行衡量。
其他数据
| 是否OA开放访问： | h-index： | 年文章数： |
| 未开放 | 37 | 79 |
| Gold OA文章占比： | 2021-2022最新影响因子（数据来源于搜索引擎）: | 开源占比（OA被引用占比）： |
| 19.90% | 2.3 | 0.28... |
| 研究类文章占比：文章 ÷（文章 + 综述） | 期刊收录： | 中科院《国际期刊预警名单（试行）》名单： |
| 100.00% | SCI、SCIE | 否 |
历年IF值(影响因子)：
历年引文指标和发文量：
历年中科院JCR大类分区数据：
历年自引数据：
相关期刊
| 同小类学科的其他优质期刊 | 影响因子 | 中科院分区 |
| Science China-physics Mechanics & Astronomy | 7.2 | 1区 |
| Physical Review Letters | 9.4 | 1区 |
| Advances In Mathematical Physics | 1.4 | 4区 |
| Optics Express | 3.4 | 2区 |
| Nature Photonics | 38.1 | 1区 |
| Entropy | 2.1 | 3区 |
| Photonics | 2.1 | 3区 |
| Applied Physics Letters | 3.8 | 3区 |
| Progress In Nuclear Magnetic Resonance Spectroscopy | 9.6 | 1区 |
| Acs Photonics | 6 | 1区 |
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