液固耦合传递兆声振动复合化学机械抛光研究
作者： 辽宁工业大学振动工程研究所; 锦州121001
摘要：采用液固耦合形式的抛光工具头，实现了兆声作用的柔性灵活附加，计算了多层中间介质情况下的声能量透射率，在此基础上开展了兆声作用下的硅片化学机械抛光实验研究．结果表明，较之传统抛光，在兆声复合抛光作用下硅片的表面质量得到了明显的改善．其中，研磨硅片的粗抛光过程，兆声复合抛光硅片的表面粗糙度Ra均值由0．3304μm下降到0．0750μm，传统抛光硅片的Ra均值则由0．3109μm下降到0．0903μm；抛光硅片的二次精抛过程，兆声复合抛光硅片的Ra均值降至0．495nm，传统抛光硅片Ra均值达到0．560nm．
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纳米技术与精密工程杂志
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