引线键合系统超声换能器的设计与仿真分析
作者： 浙江海洋大学船舶与机电工程学院; 浙江舟山316022; 浙江海洋大学东海科学技术学院; 浙江舟山316022; 舟山市知创科技开发有限公司; 浙江舟山316026
摘要：超声换能器是引线键合系统的核心部件。给出了引线键合系统超声换能器的压电换能器和变幅杆的设计方法,设计了一款80kHz集成电路引线键合用超声换能器,运用ANSYS软件建立其有限元模型并进行了动力学仿真。瞬态分析结果显示,换能器在受电压激励振动后至少要经过500个周期才能进入正常键合工作状态。
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