摘要:在真空热处理测量装置中,传统的四极质谱计由于结构缺陷存在残余气体检测不充分的问题,而标准真空计和被校真空计之间使用的T型三通同样由于结构问题存在真空度检测效率低的问题,导致大容量真空炉的真空度和残余气体测不准。文章从TRIZ理论方法的角度出发,对传统的四极质谱计结构进行不对称式优化,将T型三通变为球面结构并作加热和气压控制改进,优化和改进提高了真空热处理测量装置的工作效率。
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