误差对非球面计算全息的影响分析

摘要：非球面的精密检测中,需要使用到高质量的相位补偿器件,补偿元件的质量对检测结果的精度有直接影响。本文针对一抛物面透镜,设计了一个计算全息板。重点分析了计算全息板在制造过程中存在的各种误差的影响,分别从整体条纹移动、单个条纹定位偏差、占空比改变三个方面分析了在误差影响下,对误差引起的光场畸变进行了计算。结果表明,计算全息板的边缘处的加工误差带来的影响大于中心部分,要让通过计算全息板后光场分布的误差均方根值控制在10^-4这个量级,条纹加工误差不超过1 μm。