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ITO靶材成形工艺研究进展

作者:廖政堂 广西晶联光电材料有限责任公司; 广西柳州545036

摘要:ITO靶材主要用于制作液晶显示器、导电玻璃以及太阳能电池等。ITO靶材成形的工艺有冷静压成形、冲压成形、模压成形、挤压成形、凝胶注模成形、注浆成形等等。未来ITO靶材也会快速发展,运用到更多地方。

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化学工程与装备

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