多晶硅定向凝固特定热场模拟实验研究
作者： 厦门城市职业学院机械与自动化工程系; 福建厦门361000
摘要：研究定向凝固对提高多晶硅提纯工艺具有重要意义。进行全尺寸的多晶硅定向凝固实验周期长,成本高,采用与液态硅热学、流体力学性质相近的低温流体进行模拟实验,实验设备简单灵活,成本低廉,实验周期短。采用常规加热与新型点状热源加热方式进行对比实验,实验结果表明,用点状热源加热减少了加热器的布置数量,依然可以维持固液界面的水平,较常规加热方式降低能耗约37%,可以为多晶硅的实验与生产工艺提供参考。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社。
化学工程与装备杂志
化学工程与装备杂志， 月刊，本刊重视学术导向，坚持科学性、学术性、先进性、创新性，刊载内容涉及的栏目：专论与评述、科研与开发、生化与医药 、生产与实践 、人才与教育 、材料科学、市场研究、现代管理等。于1972年经新闻总署批准的正规刊物。
- 省级期刊
- 1个月内审核
