摘要：基于SOI的光学微环谐振腔具备低功耗、高集成、高灵敏等特点而被广泛应用于光互连、光通信和光信息传输等很多方面,本文利用耦合模理论,微环谐振理论和热光调制理论,提出了一种可以同时达到反射率可调、带宽可调和波长可调的微环反射腔镜,波长选择在1 550 nm附近,微环半径设置为10μm,硅波导尺寸选择220 nm的条波导,波导宽度为450 nm。利用转移矩阵方法和matlab仿真软件计算并仿真讨论了输出光谱与耦合系数k等参数的变化关系。仿真结果证明,该器件反射率变化为15%到100%(在无损耗的情况下),带宽调谐范围为0.25 nm~0.95 nm,通过在微环上加热电极可以实现一个FSR(自由光谱范围)范围波长的调谐。该器件在高速光网络传输、光增益谱均衡和信道选择方面有着重要应用。