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镀Au键合Ag线性能对键合质量的影响研究

作者:曹军; 吴卫星 河南理工大学机械与动力工程学院; 河南焦作454000

摘要:利用扫描电镜、能谱仪、拉力-剪切力测试仪等研究了不同镀Au厚度的镀Au键合Ag线Free Air Ball(FAB)特性和不同力学性能的镀Au键合Ag线对键合强度及其可靠性的影响规律,研究结果表明:镀Au键合Ag线镀层厚度过小会造成Electronic-Flame-Off(EFO)过程中的FAB偏球及球焊点形状不稳定,镀层厚度过大会导致FAB变尖;高强度、低伸长率会造成焊点颈部产生裂纹而造成焊点的拉力偏低并在颈部断裂,低强度、高伸长率引起颈部晶粒粗大进而降低颈部连接强度;镀Au键合Ag线颈部应力集中或内部组织结构不均匀,在冷热冲击周期性形变作用下,球焊点颈部产生裂纹并引起电阻增加,进而导致器件失效.

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材料科学与工艺

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国际刊号:1005-0299

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